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Energy-efficient full-range oscillation analysis of parallel-plate electrostatically actuated MEMS resonators

机译:平行板静电驱动mEms谐振器的节能全程振荡分析

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摘要

This is the peer reviewed version of the following article: “Fargas Marques, A., Costa Castelló, R. (2017) Energy-efficient full-range oscillation analysis of parallel-plate electrostatically actuated MEMS resonators, 1-13.” which has been published in final form at [doi: 10.1007/s11071-017-3633-8]. This article may be used for non-commercial purposes in accordance with Wiley Terms and Conditions for Self-Archiving."
机译:这是以下文章的同行评审版本:“ Fargas Marques,A.,CostaCastelló,R.(2017)平行板静电致动MEMS谐振器的节能全范围振荡分析,1-13。”最终版本已发布在[doi:10.1007 / s11071-017-3633-8]。根据Wiley自存档的条款和条件,本文可用于非商业目的。”

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